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    YS/T 1290-2018 多晶硅生產尾氣中硅烷含量的測定 氣相色譜法

    標準編號:YS/T 1290-2018
    標準名稱:多晶硅生產尾氣中硅烷含量的測定 氣相色譜法
    英文名稱:Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production-Gas chromatographic method
    發布部門:中華人民共和國工業和信息化部
    起草單位:內蒙古神舟硅業有限責任公司、江蘇中能硅業科技發展有限公司、內蒙古盾安光伏科技有限公司、四川永祥多晶硅有限公司
    標準狀態:現行
    發布日期:2018-10-22
    實施日期:2019-04-01
    標準格式:PDF
    內容簡介
    本標準規定了硅烷法生產多晶硅尾氣中硅烷含量的氣相色譜測定方法。
    本標準適用于硅烷法生產多晶硅尾氣中硅烷含量的測定。測定范圍為0.050%~10.00%。
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